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光伏硅片因为硅元素具有光电效应，所以在光伏范畴，年夜多利用硅片完成太阳能到电能的转换。因为光伏硅片相对半导体硅片在纯度和翘曲度等等方面要求较低，所以光伏硅片制造进程相对简单。 太阳能硅片的出产工艺流程分为硅片检测--概况制绒和酸洗--分散制结--去磷硅玻璃--等离子刻蚀和酸洗--镀减反射膜--丝网印刷--快速烧结等。具体介绍以下: 1、硅片检测 硅片质量的黑白直接决议了太阳能电池片转换效力的凹凸，是以需要对来料硅片进行检测。在进行少子寿命和电阻率检测之前，需要先对硅片的对角线、微裂纹进行检测，并主动剔除破损硅片。硅片检测装备可以或许主动装片和卸片，而且可以或许将不及格品放到固定位置，从而提高检测精度和效力。 2、概况制绒 单晶硅绒面的制备是操纵硅的各向异性侵蚀，在每平方厘米硅概况构成几百万个四面方锥体也即金字塔布局。制备绒眼前，硅片须进步前辈行初步概况侵蚀，用碱性或酸性侵蚀液蚀去约20~25μm，在侵蚀绒面后，进行一般的化学清洗。颠末概况预备的硅片都不宜在水中久存，以防沾污，应尽快分散制结。 3、分散制结 太阳能电池需要一个年夜面积的PN结以实现光能到电能的转换，而分散炉即为制造太阳能电池PN结的专用装备。管式分散炉首要由石英舟的上下载部门、废气室、炉体部门和蔼柜部门等四年夜部门构成。分散一般用三氯氧磷液态源作为分散源。制造PN结是太阳电池出产最根基也是最要害的工序。由于恰是PN结的构成，才使电子和空穴在活动后不再回到原处，如许就构成了电流，用导线将电流引出，就是直流电。 4、去磷硅玻璃 该工艺用在太阳能电池片出产制造进程中，经由过程化学侵蚀法也即把硅片放在氢氟酸溶液中浸泡，使其发生化学反映生成可溶性的络和物六氟硅酸，以去除分散制结后在硅片概况构成的一层磷硅玻璃。氢氟酸可以或许消融二氧化硅是由于氢氟酸与二氧化硅反映生成易挥发的四氟化硅气体。若氢氟酸过量，反映生成的四氟化硅会进一步与氢氟酸反映生成可溶性的络和物六氟硅酸。 5、等离子刻蚀 因为在分散进程中，即便采取背靠背分散，硅片的所有概况包罗边沿都将不成避免地分散上磷。PN结的正面所搜集到的光生电子会沿着边沿分散有磷的区域流到PN结的后背，而造成短路。是以，必需对太阳能电池周边的搀杂硅进行刻蚀，以去除电池边沿的PN结。 6、镀减反射膜 抛光硅概况的反射率为35%，为了削减概况反射，提高电池的转换效力，需要沉积一层氮化硅减反射膜。工业出产中常采取PECVD装备制备减反射膜。PECVD即等离子加强型化学气相沉积。 7、丝网印刷 太阳电池颠末制绒、分散和PECVD等工序后，已制成PN结，可以在光照下发生电流，为了将发生的电流导出，需要在电池概况上建造正、负两个电极。制造电极的方式良多，而丝网印刷是今朝建造太阳电池电极最遍及的一种出产工艺。丝网印刷是采取压印的体例将预定的图形印刷在基板上，该装备由电池后背银铝浆印刷、电池后背铝浆印刷和电池正面银浆印刷三部门构成。 8、快速烧结 颠末丝网印刷后的硅片，不克不及直接利用，需经烧结炉快速烧结，将有机树脂粘合剂燃烧失落，剩下几近纯洁的、因为玻璃质感化而密合在硅片上的银电极。烧结炉分为预烧结、烧结、降温冷却三个阶段。预烧结阶段目标是使浆猜中的高份子粘合剂分化、燃烧失落，此阶段温度渐渐上升；烧结阶段中烧结体内完成各类物理化学反映，构成电阻膜布局，使其真正具有电阻特征，该阶段温度到达峰值;降温冷却阶段，玻璃冷却硬化并凝固，使电阻膜布局固定地粘附在基片上。 9、外围装备在电池片出产进程中，还需要供电、动力、给水、排水、暖通、真空、特汽等外围举措措施。消防和环保装备对包管平安和延续成长也显得尤其主要。斟酌到非凡气体如硅烷的平安身分，还需要零丁设置一个特气间，以绝对包管出产平安。别的，硅烷燃烧塔、污水处置站等也是电池片出产的必备举措措施。
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